Материалы для микро– и наноэлектроники. Кремний на изоляторе. Напряженный кремний, кремний-германий
Микро– и наноэлектронные технологии и оборудование
Суб-100нм литография: ГУФ, ЭУФ, электронная и ионная литография, импринт. Квантовая литография
Тонкие пленки. High-k и Low-k диэлектрики. Металлические затворы
Плазменные процессы
Имплантация
Эпитаксиальный рост. МВЕ
Мониторинг технологических процессов и детектирование момента их окончания в микро– и нанотехнологиях
Характеризация микро– и наностркутур
Моделирование технологических процессов и микро– и наноэлектронных приборов
Развитие микро– и наноэлектронных приборов. Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные
Квантовые эффекты в наноэлектронных приборах
Магнитные микро– и наноструктуры. Наномагнетики
Сверхпроводниковые микро– и наноприборы и устройства
Молекулярная наноэлектроника
Микро– и наноэлектромеханика
Обсуждение
Добавить комментарий
Обсуждение материалов доступно только после регистрации.