Международная конференция "Микро– и наноэлектроника – 2007" (ICMNE-2007)и совместный Симпозиум "Квантовая информатика" (QI-2007)
(Московская обл.)
23 апреля 2007 16:29
регион:
Московская обл.
город:
Звенигород
место проведения:
пансионат "Липки"
области знаний:
тип мероприятия:
конференция
статус мероприятия:
международное
название:
Международная конференция "Микро– и наноэлектроника – 2007" (ICMNE-2007)и совместный Симпозиум "Квантовая информатика" (QI-2007)
организаторы мероприятия:
- Российская академия наук (РАН).
-
Отделение информационных технологий и вычислительных систем
-
Научный совет "Фундаментальные проблемы создания элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем"
-
Министерство образования, науки и инноваций РФ.
-
Управление информационных технологий
-
Российский фонд фундаментальных исследований
-
The International Society for Optical Engineering (SPIE), SPIE Russia Chapter
-
Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), Москва, Россия
-
Московский государственный университет им. Ломоносова (МГУ), Россия
-
Автономная некоммерческая организация "Учебно-научный центр МГУ-ФТИАН"
-
Тихоокеанская академия материалов
-
Фраунгоферовский институт интегральных систем и развития технологии, Эрланген, ФРГ
-
Институт физики полупроводников РАН, Сибирское отделение, Новосибирск, Россия
-
Московский институт электронных технологий (ТУ МИЭТ), Зеленоград, Россия
-
ОАО "НИИМЭ и завод Микрон"
-
Zeiss & Leo
-
NT-MDT, Co
-
FEI Company
-
SEMI (Москва)
-
Компания НИКС
-
Intech Vacuum
контингент участников:
окончание регистрации:
01 сентября 2007
начало мероприятия:
01 октября 2007
возможность публикации:
научная статья
ссылка:
сайт с информацией
дополнительно:
Предпочтительная тематика докладов:
Материалы для микро– и наноэлектроники. Кремний на изоляторе. Напряженный кремний, кремний-германий
Микро– и наноэлектронные технологии и оборудование
Суб-100нм литография: ГУФ, ЭУФ, электронная и ионная литография, импринт. Квантовая литография
Тонкие пленки. High-k и Low-k диэлектрики. Металлические затворы
Плазменные процессы
Имплантация
Эпитаксиальный рост. МВЕ
Мониторинг технологических процессов и детектирование момента их окончания в микро– и нанотехнологиях
Характеризация микро– и наностркутур
Моделирование технологических процессов и микро– и наноэлектронных приборов
Развитие микро– и наноэлектронных приборов. Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные
Квантовые эффекты в наноэлектронных приборах
Магнитные микро– и наноструктуры. Наномагнетики
Сверхпроводниковые микро– и наноприборы и устройства
Молекулярная наноэлектроника
Микро– и наноэлектромеханика
|